英國某公司生產(chǎn)的真空鍍膜機(jī)有如下特點(diǎn):
真空室內(nèi)分為上下兩室,上面卷繞室真空度為5x10-2Torr,下面蒸發(fā)室真空度為1x10-3~2x10-4Torr,兩室之間是隔板,隔板與中間冷輥之間間隙十分重要,間隙值取1.5mm,即可以很好的維持上下兩室壓力差,減少漏氣量。
四臺(tái)直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)卷繞系統(tǒng),特別當(dāng)生產(chǎn)5um以下薄膜時(shí),張力控制比較準(zhǔn)確,張力精度1%,最大張力55kg,最小張力5.5kg。
良好的真空鍍鋁條件,要有穩(wěn)定的蒸發(fā)液面和較低的鋁的蒸發(fā)溫度,當(dāng)蒸發(fā)率不變時(shí)(g/min),蒸發(fā)皿溫度和蒸發(fā)面積成反比,使用大蒸發(fā)皿,不但皿數(shù)可以減少,而且溫度也能降低。這時(shí)減少鋁液噴濺,對基料不易變形有利。
沉積在基料上的鋁只占鋁蒸發(fā)總量的30%,而70%的鋁散射在蒸發(fā)室內(nèi)部表面上,污染了機(jī)器,為了便于清理殘鋁,鍍鋁的真空室設(shè)計(jì)成可兩面開出,一個(gè)工作周期完畢后,一面開出上部卷繞機(jī)構(gòu)卸卷,另一面是下面蒸發(fā)機(jī)構(gòu)開出清理蒸發(fā)室。
冷卻輥采用乙二醇作冷卻循環(huán)介質(zhì),溫度為一30t^-20℃。
真空鍍膜機(jī)內(nèi),為捕集在真空過程中基料揮發(fā)的水蒸汽應(yīng)使液氮致冷,這種致冷方法可以在12min內(nèi),溫度下降至-196℃;。抽真空時(shí)間愈少,真空度愈穩(wěn)定,且液氮耗量每小時(shí)50L。
泵組有三種泵,其中抽氣量為47000L/s的油擴(kuò)散泵一臺(tái),抽氣量為850Om3/h的羅茨泵三臺(tái),抽氣量為1800m3/h的機(jī)械增壓泵二臺(tái),抽氣量為5lOm3/h的旋轉(zhuǎn)泵二臺(tái),抽真空時(shí)間10~l5min。