旋片真空泵是一種油封旋轉(zhuǎn)抽氣機(jī),又叫蓋德泵,主要由定子,轉(zhuǎn)子及滑片等組成。轉(zhuǎn)子偏心裝在定子中,并與定子內(nèi)壁頂點(diǎn)相切。轉(zhuǎn)子上裝有兩個(gè)能滑動的滑片,靠彈簧和轉(zhuǎn)動時(shí)離心力的作用而緊緊貼在定子壁上。轉(zhuǎn)子和滑片將定子分成吸氣腔、貯氣腔和排氣腔。由于轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動帶動滑片使吸氣腔不斷擴(kuò)大而吸氣.而排氣腔中氣體逐漸被壓縮,直到其中壓力超過大氣壓時(shí),排氣閥片被打開,氣體被排到大氣中去。
為防止排出氣體返流泵內(nèi),特將排氣閥用油覆蓋密封。真空泵油對定子、轉(zhuǎn)子與滑片之間除潤滑作用外,也還有密封作用,另外,泵油充滿泵腔內(nèi)一切有害空間,消除它們對極限真空的影響。
普通旋片真空泵,多用于抽除純凈干燥氣體,若抽除含有大量凝聚氣的氣體,則需選用旋片氣鎮(zhèn)(閥)真空泵。有氣鎮(zhèn)閥安裝于“貯氣腔”,它會開啟吸入一定數(shù)量的空氣,其分壓超過抽氣空腔中水蒸氣壓力的幾倍,到排氣腔時(shí),水蒸氣的分壓還低于飽和蒸氣壓,故不會凝結(jié)成液體水滴,而保持氣態(tài)與空氣一起排出泵外。
旋片式真空泵可作獨(dú)立獲得低真空的設(shè)備,極限真空約為6.7x10-1Pa,廣泛應(yīng)用于真空冶金、真空運(yùn)輸、真空澆鑄、醫(yī)療器械、冷凍干燥、真空浸漬、真空熱處理等行業(yè)。旋片式真空泵也可以作為高真空泵的前級泵和預(yù)抽泵,如作為油擴(kuò)散泵、羅茨泵、油蒸氣噴射泵、渦輪分子泵的前級泵、濺射離子泵的預(yù)抽泵。還可構(gòu)成抽氣機(jī)組,用于國民經(jīng)濟(jì)各個(gè)領(lǐng)域。