任何一套真空系統(tǒng)都會存在或多或少的漏氣現(xiàn)象，這跟用戶的工藝環(huán)境是分不開的，越是高真空的環(huán)境下，漏氣的趨勢也是最大的，這種情況下，用戶所要求的真空度達不到工藝上的要求，是個相當普遍的問題。對真空系統(tǒng)進行檢查，找出漏氣位置，確定漏孔大小，及時排除，這對真空技術(shù)人員是很重要的。
真空容器進行長時間抽氣后仍然達不到要求的真空度，可能有以下幾種原因:真空泵和真空機組工作不良、真空系統(tǒng)內(nèi)材料放氣、真空系統(tǒng)漏氣、漏氣和放氣并存。檢測上述問題的最簡單最常用的方法就是靜態(tài)升壓法，不需采用額外的儀器或物質(zhì)，就可以方便地檢測出被抽容器和系統(tǒng)的總漏率，可以確定問題主要出在什么地方。靜態(tài)升壓法就是采用適當?shù)恼婵沼�，每隔一定時間測量容器的壓強可以得到壓力-時間曲線。
實際真空肯定是會存在漏氣的，但是真空室漏入氣體總量要是不影響系統(tǒng)的正常工作的話，這種漏氣是可以忽略的。真空系統(tǒng)在正常工作的情況下所允許存在的最大漏氣率成為最大允許漏率。真空冶金過程中，真空泵要持續(xù)抽氣用以維持系統(tǒng)的真空度，這種系統(tǒng)只要求其平衡時壓力能夠達到所要求的真空度，存在的漏率也是允許的。
