真空技術(shù)廣泛應(yīng)用于各種工藝過程，如真空冶煉爐、RH真空處理、真空噴涂、真空蒸餾、真空濃縮、真空焊接、真空澆鑄、真空鍍膜、真空表面處理、真空陰極射線管、真空干燥、真空滅菌、食品包裝、太陽能的開發(fā)和利用、粒子加速器、受控核聚變以及航天等等。用來獲得并測量有特定要求的真空度的抽氣系統(tǒng)稱為真空系統(tǒng)。
應(yīng)用于各種不同工藝過程的真空系統(tǒng)，種類繁多，主要分為兩類。一是動態(tài)真空系統(tǒng)，這種系統(tǒng)依靠真空獲得設(shè)備的連續(xù)運行，不斷地排出進入系統(tǒng)的氣體來獲得穩(wěn)定的真空.系統(tǒng)內(nèi)有氣體流動，各處壓力有所不同。二是靜態(tài)真空系統(tǒng).它沒有任何與外界貫通點，真空建立后不要真空泵就可以長時間維持不變，系統(tǒng)內(nèi)壓力處處相等.。
真空系統(tǒng)由真空設(shè)備本體(如真空爐、真空容器等)、真空泵、冷阱、真空導管、閥門、真空計、波紋管和過濾器等組成。
真空泵是真空系統(tǒng)的心臟，工業(yè)上一般使用機械式真空泵、增壓泵和擴散泵。機械泵包括旋片真空泵、定片泵、滑閥泵、水環(huán)真空泵、螺桿泵等，可單獨作為低真空系統(tǒng)的主泵.也可作為高真空系統(tǒng)的前置泵。擴散泵工作壓力在1.3x10-1~6.7x104Pa(無冷阱)和1.3x10-5~1.3x10-7Pa(有冷阱)的.可以作為高真空系統(tǒng)的主泵.運行時必須配有前置泵。機械泵在1pa以下工作性能很差.為了更好地與擴散泵配合，在機械泵和擴散泵之間可設(shè)置增壓泵.增壓泵可以選用羅茨泵和油增壓泵等。對于超高和極高真空系統(tǒng)，有分子泵、吸氣泵、欽泵和低溫泵等可供選擇。
